中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司利用10年时间攻克了生产干式真空泵的“卡脖子”技术，投资10亿元，在南通高新区设立全资子公司中科仪（南通）半导体设备有限责任公司，新建干式真空泵产业化建设项目，以推动研究成果转化。公司聚焦集成电路和光伏行业在内的泛半导体领域，成为集真空获得装置研发、生产、销售、服务于一体的现代企业。
卑多敏 摄
