中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司投资10亿元，在南通高新区设立全资子公司——中科仪（南通）半导体设备有限责任公司，新建干式真空泵产业化建设项目，以推动研究成果转化，改变国内现今依赖进口的窘境。目前，中科仪（南通）是国内可以批量生产应用集成电路12英寸晶圆厂干式真空泵的制造企业，属于行业龙头。
卑多敏 摄
